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白皮书-维谛UPS电源在半导体行业供电质量保障方案比较－维谛精密空调PDU电源STS系统

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　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　维谛UPS电源 2020-08-31

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内容提要：白皮书-维谛UPS电源在半导体行业供电质量保障方案比较

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白皮书－半导体行业供电质量保障方案比较

半导体行业电压暂降治理解决方案

一、半导体行业现状

半导体行业是最近几年国内最蓬勃发展的行业之一。中国是一个制造大国，全球大部分的电子产品都是在中国制造。电子产品核心部件都由半导体芯片、器件或面板构成。半导体行业成为科技强国的核心支柱，得到国家和各级政府的大力扶持，如成立半导体产业基金、建立半导体产业园区，为中国半导体产业蓬勃发展奠定良好的基础。

二、半导体对供电可靠性要求

半导体行业属于高端制造行业，使用了大量高精密仪器设备，生产过程中通过中央信息系统发出指令由机台设备自动运行。

但是这些高精密生产机台设备，如：刻蚀、气相沉积、光刻、加热、清洗、测量仪器、自动检测等设备很容易受供电质量的影响，半导体行业属于连续性生产制程，一旦由于供电质量造成生产暂停需要耗费极大的停工成本，比如核心生产机台（光刻机）暖机就需耗费24小时；半导体制造过程中，微小的粉尘都可能造成晶体管短路烧毁，在溅射镀膜等部分制程甚至需维持真空，一旦出现供电质量问题导致机台设备宕机，制程中止就会造成废料、设备损坏、甚至停产等严重事故发生。据统计，半导体行业每一次停机事故所造成的直接和间接经济损失可高达上亿元。因此，半导体行业对生产线供电质量要求极为重视。

供电质量问题

供电质量通常是指提供合格、维谛UPS电源可靠电能的能力和程度，包括电能质量和供电可靠性两个方面。其中，电能质量是指“电力系统指定点处的电特性，关系到供用电设备正常工作（或运行）的电压、艾默生UPS电源电流的各种指标偏离基准技术参数的程度”。常见的供电质量问题包括：维谛UPS电源电压和频率的偏差、谐波、三相不平衡、暂时过电压、电压暂降和电压中断。电压中断和电压暂降是影响半导体行业生产损失最严重、危害最大的供能质量问题。根Gartner的研究报告，工厂中每1分钟的故障停机，将造成20,000美元的损失；美国电力研究院（EPRI）分析，工业客户平均每年经历66次电压暂降问题。艾默生UPS电源电压中断和电压暂降也是半导体行业面临最主要的供电质量问题。本文将重点介绍电压中断和电压暂降的产生原因、危害以及治理解决方案。